飞利浦电子显微镜控制电路原理

一、控制面板

有三个，由按键、旋纽和LED显示灯等组成，通过三根平板电缆与主控制电路相连；主控电路周期性地扫描并读出面板上旋纽和按键的状态，传给CPU，去控制电镜正常工作。控制面板同时还具有电镜主机、高压部分和线圈电路的电源开关切换，以及聚光灯和LED亮度控制的功能。

二、线圈电路

透射电子显微镜一般是由几个电磁透镜和准直线圈构成的物镜、中间镜、透射镜来完成放大作用。每个透镜及电子枪准直线圈有单独的电流大小和调制精度要求。线圈电流调节电路用来达到上述目的，本电路主要由电流调节电路和电流调节稳压供电两部分组成。

其中电流调节电路包含有五个用于透镜的电流调节器和十二个用于中心准直线圈和。stigmator 的电流调节器，这些调节器都是水冷的，冷却水流由水流计监控，如果断水，调节器输出电流将被切断。

三、高压电路

由高压控制电路和高压发生器两部分及自身供电系统组成。高压控制电路根据CPU 发来指令设定高压、灯丝电流、电子枪偏转电压，同时测量发射电流及相关电路工作状态，并经光纤与主控电路相连通讯。高压发生器产生高压和灯丝电流供给出电子枪，同时提供高压相关信息，传送给高压控制电路。高压供电系统在下列情况时被禁用：真空达不到，镜筒打开时或线圈电流调制器出错时。

四、主控制部分

由一台IBM486 或586电脑和三块接口板组成。一块光纤接口板（简写OFI ） ，通过两路光纤连接到高压和线圈电流调制电路，双工传送32位控制信息并接收8位的回传状态信息。一块控制面板接口（简写CPI )），通过三根平板电缆接到三个控制面板，将面板上按键和旋纽的信号转换成CPU 可接受的信号。一块RS232 接口板及三个通信接口COM1、COM2 、COM3 ，分别接到真空控制电路、曝光控制电路、样品定位系统。电镜工作时，各部分状态参数周期地存人硬盘专用区域，每次关机后重开时，可直接调出供使用。

五、主电源部分

主电源受主控电路控制，包括自动变压器（低压时调整电压）、保险丝、聚光灯控制等。主要用来将220V转变为＋5V 和＋24V 供各个系统用。

六、真空系统

由真空控制部分和两级抽真空部件（旋转真空泵和油扩散泵）加上三个真空压力计以及其它真空部件如阀门、微动开关、温度计和真空部分电源供电等组成，它既能直接受电脑软件控制自主工作，也能接受主控电路的指令并回传自身工作状态给出电脑。真空控制部分包括有一个Z80CPU （单板机），通过RS232与主控电脑通讯。其功能包括如下，真空压力和温度测量，真空阀门开关驱动，执行EPOM 中的程序对真空过程进行控制。真空系统工作的各个过程可在主控电脑屏幕上直观显示出来以供操作人员监控。

七、曝光控制部分

电镜可在观察的同时进行拍照。曝光控制部分实行拍照功能。它包括：曝光测量电路（通过安在真空系统内部的一个微电流计测量流进荧光屏的电流大小）和一个带微电脑的图形标记控制电路，可控制快门、储片盒、35 毫米像机、图形标记显示、小观察屏和大屏的位置等。它自身也有带供电电源；与主控电路之间也是由光祸元件实现电隔离。

八、样品定位系统

本系统对样品可进行X、Y 轴机动定位，也能用手动操纵杆来定位，其位置可由操作软件存储和再现。它包括80C32 单板微机，步进马达驱动，电源整流供电和通讯电路。

九、镜筒和冷阱部分

镜筒主要是机械结构。冷阱由一个液氦罐和加热灯，温度计以及一些电子元器件组成。